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OMMER干式真空泵的工作原理

發布時間: 2026-04-16  點擊次數: 242次

  OMMER干式真空泵是意大利O.M.M.E.R.公司生產的無油旋轉葉片真空泵,專注于提供高效、耐用且高度可定制的真空解決方案,適用于對真空環境潔凈度要求較高的行業。

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  一、產品特點

  無油設計:OMMER干式真空泵采用無油潤滑技術,避免了油污染問題,特別適合對潔凈度有嚴格要求的應用場景,如半導體、醫藥和食品加工等行業。

  高效節能:該系列真空泵運轉可靠且壽命長,操作維護方便。由于采用變螺距結構(部分型號),比等螺距螺桿可節省30%能耗,排氣溫度較低。

  結構緊湊:泵的轉子與電機軸采用一體化組裝方式,有效控制了產品整體體積,便于設備集成與狹窄工況部署。

  低噪音運行:機器可平穩地高速運行,噪聲低,適合實驗室及對噪音敏感的環境。

  可定制化服務:可根據客戶具體應用場景、工況參數,提供定制化真空系統與設備方案。

  二、主要型號及參數

  OMMER干式真空泵主要涵蓋以下系列型號:BVS2、4;BVS6;BVS10;RMS10、15、20;RMS25、30、35。

  三、OMMER干式真空泵的工作原理

  OMMER干式真空泵(以螺桿式為例)通過一對同步齒輪驅動逆向旋轉的螺桿轉子實現氣體抽吸。具體過程如下:

  氣體吸入

  螺桿轉子在泵腔內同步反向旋轉,形成齒間容積。當轉子旋轉至進氣端時,齒間容積逐漸擴大,內部壓力降低,低于被抽容器的壓力,氣體通過進氣口被吸入齒間容積。

  氣體壓縮

  隨著轉子繼續旋轉,齒間容積從進氣端向排氣端移動,容積逐漸縮小。氣體在齒間容積內被壓縮,壓力逐漸升高。

  氣體排出

  當齒間容積移動至排氣端時,容積縮小至最小,氣體壓力達到排氣壓力。此時,排氣口打開,壓縮氣體被排出泵外,完成一個抽氣循環。

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  核心特點與優勢

  無油設計:泵腔內無需油或水等液體介質,避免污染被抽氣體,適用于半導體、制藥等對潔凈度要求高的行業。

  高效節能:采用變螺距結構的螺桿泵(如OMMER部分型號)可節省30%能耗,排氣溫度較低。

  穩定運行:螺桿轉子經高精度動平衡校正,運轉平穩,噪音低,壽命長。

  寬壓力范圍:單臺泵可實現從大氣壓至數帕(如1Pa、5Pa)的寬范圍工作,抽速范圍廣。

  適應惡劣工況:可處理腐蝕性、有毒、含粉塵及可凝性氣體,泵腔無油無水,運行中無廢油、廢水排放。

  應用場景

  半導體制造:用于刻蝕、鍍膜、離子注入等需要超高潔凈、無油污染的真空環節。

  光伏產業:應用于太陽能電池板的制造過程。

  制藥與醫療:用于無菌環境控制、藥液干燥與溶劑回收、脈動真空滅菌器等。

  化工與石油:適用于真空蒸餾、溶劑回收、油氣回收等對產品純度要求高的工藝。

  食品工業:用于香料濃縮、食品包裝等需要避免油污染的環節。


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